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　　国家知识产权局信息显示，江苏迈纳德微纳技术有限公司申请一项名为“一种等离子体辅助原子层沉积系统及工艺”的专利，公开号CN121344564A，申请日期为2025年10月。

　　专利摘要显示，本发明公开了一种一种等离子体辅助原子层沉积系统及工艺，属于薄膜沉积技术领域。所述系统包括：工艺腔，所述工艺腔的顶部设有扩散口，所述工艺腔的底部通过升降机构连接样品台，所述工艺腔的底部还通过抽气管路连接真空泵，所述工艺腔上端通过等离子发生器上端连接第一气路结构，所述工艺腔的侧部连接第二气路结构；传输腔，所述传输腔的底部通过另一抽气管路连接真空泵。本发明的第一气路结构中，氨气气源与单口瓶、双口瓶的气源均与辅助载气连通，则保证气体传输工程中的真空度，两个腔体底部分别连通真空泵，这样能够保证两个腔体的真空度，有效防止氮化物薄膜被氧化，进而保证电学性能。

　　天眼查资料显示，江苏迈纳德微纳技术有限公司，成立于2017年，位于无锡市，是一家以从事其他制造业为主的企业。企业注册资本1000万人民币。通过天眼查大数据分析，江苏迈纳德微纳技术有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目131次，财产线条，此外企业还拥有行政许可8个。

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